詳細介紹
電子工業高純水設備
電子工業高純水設備中,生產單晶硅半導體材料、二極管、三極管、集成電路、光、硬盤、顯象管時,都需要達到電子級標準的工藝用水,在我國,電子級水共分五個級別,部分指標如下:
|              指標 級別  |                          EW-Ⅰ  |                          EW-Ⅱ  |                          EW-Ⅲ  |                          EW-Ⅳ  |                          EW-Ⅴ  |         
|              電阻率 MΩ.cm(25℃)  |                          18 90%時間zui小17  |                          15 90%時間zui小12  |                          10 90%時間zui小8  |                          ≥2  |                          ≥0.5  |         
|              大于1μm微粒數,大值,個/ml  |                          1  |                          5  |                          10  |                          100  |                          500  |         
|              大于0.5μm微粒數,大值,個/m  |                          100  |                          300  |                          500  |                          1000  |                          2000  |         
|              細菌個數,大值,個/ ml  |                          1  |                          5  |                          10  |                          50  |                          100  |         
|              總有機碳含量,大值  |                          50  |                          100  |                          200  |                          1000  |                          5000  |         
|              二氧化硅總含量,大值  |                          2  |                          20  |                          50  |                          100  |                          1000  |         
電子級水基本制水流程如下:
原水 預處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水、超純水設備的生產有多年歷史,可按用戶的需求提供達到電子級別用水的生產線。
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