立式中高溫集熱管鍍膜設備

　　一、應用領域：

　　中科科美提供中高溫集熱管鍍膜整體解決方案。

　　該設備為太陽能光熱產業提供高溫集熱管真空涂層，可在不銹鋼管上沉積選擇性吸收膜，保證其有較高的吸收率和極低的發射率。

　　太陽能高溫集熱是利用高真空技術和槽式聚光技術，將太陽能轉換為高熱能，用于城市集中供曖，對于節能減排、促進太陽能光熱產業升級，具有重要的意義。

　　二、性能參數：

　　1. 工件長度：長度規格2米、4米

　　2. 不銹鋼金屬管直徑范圍：Φ70mm-120mm

　　3. 吸收率≥95%

　　4. 發射率 ≤9%（300℃）

　　5. 鍍膜方式：磁控濺射沉積選擇性吸收膜

　　6. 設備產能：5萬支/年（MAX）

　　7. 極限真空：8x10-4Pa，本底真空：3.2x10-3Pa；

　　8. 工藝加熱溫度：300℃   鎧裝加熱組件；

　　9. 磁控靶：5個；

　　10. 磁控電源：直流  1套     中頻   2套；

　　11. 偏壓電源：1套；

　　12. 控制系統：PC+PLC控制模式，自動/手動/修理調試功能轉換；多種工藝參數儲存，多種互鎖安全保護；