超純水是一般工藝很難達到的程度,采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后處理等步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達18.25MΩ*cm 。依各種原水水質和客戶要求的不同,超純水的制備工藝大體可分為預超純水處理、脫鹽和精處理三步。
1、預處理
包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。
過濾可除去 1~20微米大小的顆粒,軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢,加氯是為了殺菌。活性碳過濾是除去有機物和自由氯,脫氣是清除溶于水中的CO2等。

2、脫鹽
包括電滲析、反滲透、離子交換。
電滲析的原理是在外加直流電場作用下利用陽離子和陰離子交換膜對離子選擇性透過,脫鹽率可達95%以上。反滲透是滲透 現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透,脫鹽可達98%,并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。
離子交換的原理是當水通過陽離子交換樹脂時,水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附,樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中,并和水中的陰離子結合成相應 的無機酸,如超純水,這種含有無機酸的水,當下一步通過陰離子交換樹脂層時,水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。
3、精處理
樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結合成水,即超純水精處理 包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。
紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結構,破壞核酸功能而使細菌死亡。
各種膜過濾能除掉直徑大于 0.2微米的顆粒,但對于清除 有機物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中,水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10~200埃范圍內,薄膜 厚度為0.1~0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內壁上,超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。
萊特萊德超純水設備通常采用反滲透設備和電去離子(EDI)設備及拋光混床相結合的方式制備超純水,可以有效去除水中的雜質、重金屬離子、細菌等有害物質,出水水質符合工業生產用水需求,是一種環保、經濟和發展潛力巨大的超純水制備工藝,具有很高的環境效益、經濟效益,發展前景廣闊。
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