從微米級(jí)檢測(cè)到良率提升：四方光電粒子計(jì)數(shù)器在顯示面板制造中應(yīng)用

近年來，全球平板顯示面板市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，下游消費(fèi)電子領(lǐng)域（電視、電腦、手機(jī)等）以及商用顯示、車載顯示、醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)擴(kuò)容需求，LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率，以確保終端市場(chǎng)產(chǎn)品供應(yīng)并維持市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

影響LCD與OLED質(zhì)量的核心要素

在平板顯示制造工藝中，顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關(guān)鍵因素。隨著器件小型化與精密化發(fā)展，高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級(jí)，這使得生產(chǎn)工藝對(duì)顆粒污染更為敏感。基底表面顆粒沉積易引發(fā)點(diǎn)缺陷甚至線缺陷，直接導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降。

靜電污染問題同樣不容忽視。材料間電子能級(jí)差異導(dǎo)致接觸時(shí)發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移，由此產(chǎn)生的靜電吸附（ESA）效應(yīng)會(huì)強(qiáng)力吸附周圍微粒，此類污染難以通過常規(guī)清潔手段去除。此外，靜電放電（ESD）與電磁干擾引發(fā)的設(shè)備故障也會(huì)對(duì)制程穩(wěn)定性造成威脅。

潔凈室實(shí)時(shí)顆粒物監(jiān)控解決方案的價(jià)值

通過實(shí)施潔凈室環(huán)境顆粒物實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可及時(shí)識(shí)別顆粒濃度超標(biāo)風(fēng)險(xiǎn)，并采取針對(duì)性防控措施。該方案能有效降低空氣懸浮顆粒沉降造成的基底表面污染，同時(shí)緩解靜電吸附（ESA）導(dǎo)致的次生污染，從而系統(tǒng)性提升產(chǎn)品良率。

四方光電在線激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)優(yōu)勢(shì)

四方光電依托成熟的光散射技術(shù)，開發(fā)出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在線或便攜型粒子計(jì)數(shù)器。該產(chǎn)品線具有以下核心優(yōu)勢(shì)：

?采用工業(yè)級(jí)大功率線性激光源，確保>98%的粒子識(shí)別精度與計(jì)數(shù)效率

?支持多通道定制化粒徑分級(jí)（標(biāo)準(zhǔn)配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm）

?連續(xù)穩(wěn)定采樣設(shè)計(jì)，MTBF（平均無故障時(shí)間）超過30,000小時(shí)

?符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，適用于百級(jí)至十萬級(jí)潔凈環(huán)境

?該系列產(chǎn)品已通過RoHS認(rèn)證，在TFT-LCD陣列制程、OLED蒸鍍工藝等關(guān)鍵制程環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用