四方光電塵埃粒子計數器精準監測微粒污染，助力顯示面板制程良率提升

四方光電塵埃粒子計數器精準監測微粒污染，助力顯示面板制程良率提升

受益于下游電視、電腦、手機等消費類電子產品以及商顯、車載、醫療等專顯產品需求的推動，近年來中國顯示面板市場規模整體呈增長態勢，由2016年的2984億元增長至2023的5694億元，但整體增速逐步趨緩，市場競爭進一步加劇。中大尺寸市場仍由LCD技術主導，但競爭格局較為固定，需要進一步提升產品良率，降本增效，以提升產品利潤和競爭力。OLED技術逐漸成熟，占領小尺寸市場，但與LCD相比在工藝成熟度和產品良率上仍有較大的提升空間。綜上，在LCD和OLED面板的制造中，產品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問題。

平板顯示制程良率受微粒污染和靜電損害影響

以TFT-LCD為代表的顯示面板生產過程主要有三個工序 Array、Cell 和 Module，制造程序復雜，制造過程中需要進行嚴格的環境管控，減少對產品的損害。OLED因其構造簡單，制造流程不像LCD那樣復雜，但也需要在潔凈環境中生產。在平板顯示制程中影響產品良率的污染物有很多，包括金屬離子、氣態分子污染物、微粒、細菌以及靜電等，其中對LCD和OLED制程良率影響最大的是微粒污染和靜電損害。

• 微粒污染

隨著器件微型化和精細化進程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經降到微米級別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率。

• 靜電顆粒吸附污染

靜電的產生是因為每一種材料的電子能級不同，兩種不同材料在接觸時會發生電荷轉移。由于靜電的負面效應，使得保持高水準的產品質量和產品良率更加困難。平板顯示制程中常見靜電損害主要有ESA（顆粒吸附）污染、ESD（靜電放電）污染和電磁波干擾引起的設備故障三種。其中ESA污染是因為產品制程中的移動會造成產品表面有靜電場的存在，它的靜電場會把附近的微粒吸引到它的表面，并且其吸力較大，極難在沒有機械力的情形下清除。微粒的靜電吸附，增加了芯片表面的污染，進而降低了良率。

所以為了提高平板顯示制程良率，在控制靜電損害的同時，也要重視對于微粒的監測，保證生產環境的潔凈度。通過實時監控微粒的變化參數，如果微粒超標可以及時發現，采取針對性措施進行防控改善，以減少落在芯片和設備表面的微塵粒子，降低因為微粒本身和靜電微粒吸附（ESA）造成的產品損壞，提高良率。

四方光電研制的在線塵埃粒子計數器可以實時監測潔凈車間中單位體積內空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數，并通過3.5寸觸摸屏顯示粒徑信息和警報提示，當微粒超標時可通過內置蜂鳴器報警，能有效應用于面板生產潔凈車間中，滿足監測需求。四方光電在線塵埃粒子計數器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光學散射原理，內置四方光電的塵源智能識別模塊，具有高效粒子識別率，檢測精度高；內置超聲波氣體流量傳感器，實現28.3L恒流采樣，數據長期穩定性高；低噪音渦輪風機采樣，連續監測穩定性好，壽命長；滿足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007標準，廣泛應用于百級、千級、萬級、十萬級等潔凈室環境。