一、開機準備
1、確認電源、水源、排放管路均已連接正常。
2、打開外殼檢查各部分儀表、泵、電磁閥等是否正常。
3、空載測試泵是否正常運行。
二、開始操作
1、打開水源，讓水流浸泡進進口過濾器中，待水流滲透進內層過濾器后，可開啟循環泵開始循環運轉。
2、開啟終端放水電磁閥，并根據表格所示循環數量，開始進行蒸發器第一次預加熱，這個過程中，進出水溫差不得大于2℃。
3、等蒸發器預加熱后，再將系統內電磁閥開封，開始蒸餾器預加熱處理，進出水溫差不得大于2℃。
4、當蒸餾出水溫度穩定在90℃左右時，打開首端高溫電磁閥:讓熱水進入換熱器，升高第一段預加熱器出口水溫至70℃左右小循環泵開始運轉，使得水循環，換熱器內兩種水并未混合。
5、當第一段預加熱器出口溫度穩定在70℃左右時，打開高溫電磁閥和循環泵電磁閥，使循環泵開始運行，高溫電磁閥讓高溫水進入第二段預加熱器，提高出口水溫至約85℃左右，同時，小循環泵將高溫水送到換熱器內與蒸汽進行換熱，生成超純水。
6、待生成的水流達到要求后，先關閉小循環泵電磁閥，再關閉高溫電磁閥和循環泵電磁閥，用超純水循環清洗換熱器，將器內殘留的污垢沖洗干凈。
7、等水流量降至一定程度后，再關閉終端放水電磁閥，等待水流留存于超濾器內過幾分鐘，最后關閉泵、縮空氣源，按下電源開關，整個過程完成。
